无尘室的保养原则

1、不产生1、生产自动化及人员不聚集．动作放轻。2、洁净室内装材料的适当选用。 3、无尘衣及洁净室专用器具的使用及管理。4、制程设备的发尘抑制。

2、不堆积1、有计画有基准的实施清扫的工作。2、不造成不易清扫的死角，机器外围要易于清除。3、风管及配置要避免露于室内。

3、不带入1、机器．材料．工具．虔銎哂埽须经清洁方可进入洁净室。2、非必要之物品禁止携入3、作业人员须依规定更衣经浴尘室再进入洁净室。4、建物要紧密，HPEA及框架没有泄漏。5、室内保持正压。

4、排除1、施工后须马上清洁。2、气流的形成要设计得当，防止尘埃附着在产品上。3、污染源须有排气设备直接吸除。4、换气次数须足够符合规定。