晶圆制造工艺流程9个步骤

2025-06-09 21:43:32

1、沙子:硅是地壳内第二丰富的元素,而脱氧后的沙子(尤其是石英)最多包含25%的硅元素,以二氧化硅(SiO2)的形式存在,这也是半导体制造产业的基础。

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3、单晶硅锭:整体基本呈圆柱形,重约100千克,硅纯度99.9999%。

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5、晶圆:切割出的晶圆经过抛光后变得几乎完美无瑕,釉涑杵抑表面甚至可以当镜子。事实上,Intel自己并不生产这种晶圆,而是从第三方半导体企业那里直接购买成品,收墩芬蓥然后利用自己的生产线进一步加工,比如现在主流的45nm HKMG(高K金属栅极)。值得一提的是,Intel公司创立之初使用的晶圆尺寸只有2英寸/50毫米。

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8、蚀刻:使用化学物质溶解掉暴露出来的晶圆部分,而剩下的光刻胶保护着不应该蚀刻的部分。

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