碳化硅工业污水处理方法

1、　　半导体碳化硅的污水的切削液用水量大、C0D浓度高且悬浮物多，主要含有金属离子、金属离子、硅酸钠、聚乙二醇等污染物，在进行碳化硅污水处理的过程中也是一个碳化硅微粉回收的过程。

2、　　半导体污水处理在去除废金属、聚乙二醇、多晶硅等杂质的同时也是回收回收碳化硅的过程，既然保护了环境也节约了资源。

3、　　碳化硅污水可以采用化学处理法、物理处理法、生物化学处理三种进行处理，因悬浮物较多，一般会采用沉淀的方式，不同污水的成分加入的水处理药剂是不一样的。

4、　　将碳化硅加工污水进入沉淀池进行自然沉淀分离，沉淀池出水进入膜分离池，通过膜设备进行分离浓缩，超桦颁虍与滤膜过滤运行压力控制在0.1-0.6MPa，每20分钟反冲洗2分钟，反冲洗时控制反洗水或膜片膨胀至正压0.2kg/c㎡，以恢复超滤膜的过滤通量。膜分离池浓缩液进入脱水机脱水，滤液送回到膜分离池，滤饼回收作为副产品销售。膜设备上清液回用到车间生产中。

5、 半导体碳化硅的污水采用这种的水处理方法不仅解决了碳化硅微粉废水处理成本高且水处理运行不稳定的技术难题以外还实现了污水零排放。