电子束曝光步骤

2025-05-04 08:37:13

1、我们第一步要先准备好待加工样品，要先在待加工样品上面涂上一层电子束抗蚀剂，在底层的电子束抗蚀剂上形成金属层；

3、要确定适于绘制图形的中心部分的电子束逃仵鲔忻曝光量;修正端部以形成辅助曝光图形,该辅助曝光图形用于修正绘制图形端部图形尺寸的偏差。

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